Ders Adı Mikro Elektronik Üretim Süreçleri 544
Semester Güz
Ders Tipi Zorunlu
Teori 3
Kredi 3
ECTS 10
Dersin Açıklaması
Yarı iletken endüstrisinin tarihi Temiz oda ve detayları, kirlik kontrolü Mikrolelektronik üretimine genel bakış. Yarıo
iletken proseslerin ana aşamaları. Yonga temizleme epitaksiyel büyütme , fotolitografi aşındırma, oksşdasyon, katkılama paketleme. Proses tümleştirme güncel üretim teknolojileri.Mikroelektronik üretimde kullanılan cihazlar. Vakum sistemlerine giriş Güvenlik ve sağlık yönü