Seçmeli Ders

Ders Adı Micro Elektromekanik Sistemlerin Tasarımı ve Modellenmesi 573

Semester Güz

Ders Tipi Zorunlu

Teori 3

Kredi 3

ECTS 10

Dersin Açıklaması

Essential of microfabrication and MEMS foundry procesess. MEMS layout design.Lumped modeling and modeling in multiple energy domains. Linear and nonlinear coupling. Dissipative procesess. Macromodeling techniques. Finite element analysis of MEMS Case Studies.