Ders Adı
Mikro Elektronik Üretim Süreçleri
544
Semester
Güz
Ders Tipi
Zorunlu
Dersin Açıklaması
Yarı iletken endüstrisinin tarihi Temiz oda ve detayları, kirlik kontrolü Mikrolelektronik üretimine genel bakış. Yarıo
iletken proseslerin ana aşamaları. Yonga temizleme epitaksiyel büyütme , fotolitografi aşındırma, oksşdasyon, katkılama paketleme. Proses tümleştirme güncel üretim teknolojileri.Mikroelektronik üretimde kullanılan cihazlar. Vakum sistemlerine giriş Güvenlik ve sağlık yönü