Ana içeriğe atla

Seçmeli Ders

Ders Adı Mikro Elektronik Üretim Süreçleri 544

Semester Güz

Ders Tipi Zorunlu

Teori 3

Kredi 3

ECTS 10

Dersin Açıklaması
Yarı iletken endüstrisinin tarihi Temiz oda ve detayları, kirlik kontrolü Mikrolelektronik üretimine genel bakış. Yarıo iletken proseslerin ana aşamaları. Yonga temizleme epitaksiyel büyütme , fotolitografi aşındırma, oksşdasyon, katkılama paketleme. Proses tümleştirme güncel üretim teknolojileri.Mikroelektronik üretimde kullanılan cihazlar. Vakum sistemlerine giriş Güvenlik ve sağlık yönü