Course Name
Microelectronic Fabrication
544
Semester
Güz
Course Type
Compulsory
Theory
3
Credit
3
ECTS
10
Course Description
Yarı iletken endüstrisinin tarihi Temiz oda ve detayları, kirlik kontrolü Mikrolelektronik üretimine genel bakış. Yarıo
iletken proseslerin ana aşamaları. Yonga temizleme epitaksiyel büyütme , fotolitografi aşındırma, oksşdasyon, katkılama paketleme. Proses tümleştirme güncel üretim teknolojileri.Mikroelektronik üretimde kullanılan cihazlar. Vakum sistemlerine giriş Güvenlik ve sağlık yönü