Skip to main content

Elective List

Course Name Microelectronic Fabrication 544

Semester Güz

Course Type Compulsory

Theory 3

Credit 3

ECTS 10

Course Description
Yarı iletken endüstrisinin tarihi Temiz oda ve detayları, kirlik kontrolü Mikrolelektronik üretimine genel bakış. Yarıo iletken proseslerin ana aşamaları. Yonga temizleme epitaksiyel büyütme , fotolitografi aşındırma, oksşdasyon, katkılama paketleme. Proses tümleştirme güncel üretim teknolojileri.Mikroelektronik üretimde kullanılan cihazlar. Vakum sistemlerine giriş Güvenlik ve sağlık yönü